超纯水是将水中的导电介质几乎完全去除,又把水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水,电阻率达到10MQ2*cm ( 25°C )。 超纯水中除了水分子外,几乎没有什么杂质元素,更没有细菌、病毒、含氯二嗯英等有机物,同时电导率极地,可以说是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。由于超纯水的高指标要求,因此超纯水的测试指标要求极为严苛。
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